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合作案例

  • 清華大學采購PLUTO-T等離子清洗機
    清華大學采購PLUTO-T等離子清洗機 清華大學調研了眾多等離子表面處理設備,最終選擇了上海沛沅生產的Pluto-T等離子清洗機/表面處理機。根據客戶的技術要求,提供了可以滿足老師所有技術參數要求的Pluto-T等離子清洗機/表面處理機,以下為該設備的安裝調試圖。
  • 上海交大采購PLUTO-MC沉積鍍膜設備
    上海交大采購PLUTO-MC沉積鍍膜設備 2020年12月,上海交通大學采購我司PLUTO-MC沉積鍍膜設備。該設備采用13.56MHz射頻,涂覆面積為150*150mm,具備良好的穩定性與可重復性。
  • 電子科技大學采用Pluto-MD等離子去膠機進行晶圓去膠
    電子科技大學采用Pluto-MD等離子去膠機進行晶圓去膠 電子科技大學已采購多臺等離子設備,包括PLUTO-T等離子清洗機,PLUTO-MD等離子去膠機等,用戶反饋良好。主要涉及的應用有:晶圓光刻膠的去除、電子半導體樣品表面有機物的去除、多功能微納結構寬帶吸收器的表面處理等等。

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企業新聞| CORPORATE NEWS

等離子去膠機的低溫特性可適用于熱敏感材料使用

等離子去膠機的核心原理是利用高頻電磁場激發氣體分子,形成由離子、電子和活性自由基組成的等離子體。這種等離子體具有雙重作用:一是物理轟擊,高速離子撞擊膠層表面,使...

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技術文章| Technical articles

小型等離子清洗機能夠在不損傷材料的前提下進行快速清理

小型等離子清洗機是一種利用低溫等離子體技術對材料表面進行高效清潔、活化或改性的設備,廣泛應用于微電子、醫療器械、精密儀器、科研實驗等領域。其核心原理基于等離子體的物理和化學作用,能夠在不損傷材料的前提下,去除表面污染物、增強表面能、提高附著力。以下是其原理及優點的詳細分析:氣體電離:在真空腔體內,通過射頻(RF)電源或微波電源激發惰性氣體(如氬氣Ar、氦氣He)或反應性氣體(如氧氣O2、氮氣N2、氫氣H2),使其電離形成等離子體。等離子體特性:等離子體由高能電子、離子、自由基...

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應用案例

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