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臺式真空等離子清洗機是一種體積緊湊、適用于實驗室或小批量生產(chǎn)的等離子體表面處理設(shè)備。它通過在密閉真空腔體內(nèi)產(chǎn)生等離子體，對材料表面進行清潔、活化、刻蝕或鍍膜，無...
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等離子清洗機是一種利用氣體等離子體進行表面處理的設(shè)備，它通過能量轉(zhuǎn)換技術(shù)將氣體轉(zhuǎn)化為活性高的等離子體，這些等離子體能輕柔沖刷固體樣品表面，實現(xiàn)超清洗、活化、刻蝕等處理效果。作為干法處理設(shè)備，等離子清洗機全程無需化學(xué)溶劑，在干燥環(huán)境下完成處理，樣品處理后可直接進入下一道工序。01國產(chǎn)等離子清洗機的技術(shù)特色國產(chǎn)等離子清洗機在技術(shù)上實現(xiàn)了顯著突破，采用高頻電源驅(qū)動和智能控制系統(tǒng)，大大提升了清洗效率與穩(wěn)定性。設(shè)備利用氣體作為處理介質(zhì)，有效避免了樣品二次污染，其清洗能力可達分子級，能夠...
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等離子清洗特點是不分處理對象的基材類型，均可進行處理，對金屬、半導(dǎo)體、氧化物和大多數(shù)高分子材料等都能很好地進行超清洗。
圖為PLUTO-T等離子清洗機對陶瓷基板上銀氧化層的清洗實例。
等離子清洗機可用于晶圓或者電路板表面的光刻膠去除，以及去除光學(xué)元件、半導(dǎo)體元件表面的光阻材料等。
圖為PLUTO-MD等離子去膠機對PCB板和硅片的去膠實例。
改善粘合力-用于光學(xué)元件、生物醫(yī)學(xué)、封裝領(lǐng)域等；
表面改性-用于高分子材料表面修飾、PDMS微流控芯片鍵合、玻璃等，增強表面粘附性、浸潤性、相容性；
圖為PLUTO-M對線路板、橡膠管和手機膜的表面改性實例。
等離子刻蝕是干法刻蝕中常見的一種形式，其原理是暴露在電子區(qū)域的氣體形成等離子體，電離氣體原子通過電場加速時，會釋放足夠的力量與表面驅(qū)逐力緊緊粘合材料或蝕刻表面。
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